Union光學EMA-400臺式面罩對準器打印機
EMA-400 臺式面罩對準器緊湊、高性能、低成本的桌面曝光系統，非常適合研發。該產品是一款節省空間、易于操作、高性能、低成本的掩模對準器，非常適合大學和企業實驗室使用。
Union光學EMA-400臺式面罩對準器打印機
Union光學EMA-400臺式面罩對準器打印機
EMA-400 臺式面罩對準器緊湊、高性能、低成本的桌面曝光系統，非常適合研發。該產品是一款節省空間、易于操作、高性能、低成本的掩模對準器，非常適合大學和企業實驗室使用。該產品在同類產品中采用雙物鏡顯微鏡和積分鏡頭（照明系統），可實現高精度對準和打印。
面罩尺寸 | 5 英寸 |
晶圓尺寸 | φ4英寸 |
曝光照明 | 250W超高壓汞燈 |
光學系統 積分器透鏡系統 | |
照度不均度±5%以下 | |
照度 20mW/cm2 (405nm) | |
有效曝光范圍 φ100mm | |
曝光：由數字定時器驅動的旋轉螺線管 | |
曝光模式 | 軟接觸，硬接觸 |
解決 | 2 μm（用于硬接觸） |
對齊范圍 | 雙物鏡顯微鏡 |
10x 物鏡 x 2 (NA0.15 WD30mm) | |
物距 15 至 75mm | |
目鏡 NWF10×（視場數 18） | |
整體放大倍數 100x | |
晶圓臺 | XY平臺行程±5mm |
θ旋轉行程±5° | |
Z軸行程 0～4mm | |
對齊方式 | 通過移動晶圓臺手動對準 |
對準精度 | ±3μm |
安裝尺寸 | 735(W)×490(D)×605(H)mm |
安裝重量 | 約90公斤 |
公用事業 | 電源 AC100V 15A 50/60Hz |
真空度（壓力）21.3kPa（大氣壓-80kPa） | |
N2氣體或干燥空氣（壓力）0.2MPa以上 |
