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    • NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)

    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)

    參考價(jià)訂貨量

    1000000

    ≥1臺(tái)

    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 型號(hào)
    • 品牌其他品牌
    • 所在地國(guó)外
    • 更新時(shí)間2023-03-22
    • 廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)廠(chǎng)家
    • 所在地區(qū)上海
    • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
    • 產(chǎn)品數(shù)量40
    • 人氣值1081
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    那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月,是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸,香港,中國(guó)臺(tái)灣和澳門(mén))的客戶(hù),同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專(zhuān)門(mén)的服務(wù)辦公室,提供銷(xiāo)售和售后技術(shù)服務(wù)。


    那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó),該公司是法國(guó)那諾-馬斯*限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國(guó)際前列的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開(kāi)始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式更名。


    自2001年Nano-Master開(kāi)始設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類(lèi)金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為國(guó)際薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

    我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)工程師、技術(shù)支持人員,使得公司擁有專(zhuān)業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商,我們的目標(biāo)是提供高品質(zhì)的服務(wù)并始終維持超高水平的集成度。






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    產(chǎn)地進(jìn)口 加工定制
    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng):是一款手動(dòng)放片/取片,但工藝過(guò)程為全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制的臺(tái)式離子束刻蝕系統(tǒng),可以用于表面清洗、表面處理、離子銑等。
    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為手動(dòng)放片取片,但通過(guò)計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的臺(tái)式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)勢(shì)。


    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

    • 低成本

    • 離子束:高達(dá)2KV/10mA

    • 離子電流密度100-360uA/cm2

    • 離子束直徑:4",5",6"

    • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)

    • 極限真空5x10-7Torr

    • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵

    • 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體

    • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)

    • 自動(dòng)上下載片(NIE-3500)

    • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制

    • 占地面積30"x30"


    產(chǎn)品應(yīng)用:

    • 表面處理

    • 離子銑

    • 表面清洗

    • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕




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