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● 采用技術-積木錯位蠅眼透鏡消衍射技術和線條陡直增強技術，曝
光圖形質量好，光刻分辯力高。
● 采用創的CCD圖像底面對準，單曝光頭正面曝光實現雙面對準
功能。
● 采用新穎的高精度，多自由度掩模一樣片精密對準工件臺結構,掩模與
樣片對準過程直觀，套刻對準速度快，精度高樣片的放置采用推拉式
基準平板，真空吸附式，操作方便。
● 采用1000W長壽命型汞燈光源，曝光能量高，聚光角度小，光源穩定，
持久。
● 支持真空接觸曝光，硬接觸曝光，壓力接觸曝光，接近式曝光四種曝光功能。
● 配備循環水冷卻系統，照明面溫度恒定。
● 具有納米壓印接口功能。
● 曝光面積：8英寸；對準精度：≤±2 μm（雙面,片厚0.8mm）/0.8 μm（單面）。
● 掩模尺寸：4英寸、5英寸、7英寸、9英寸。
● 光刻分辨力：1 μm。
● 曝光方式：定時（倒計時方式0.1s-9999.9s任意設定）和定劑量。
● 膠厚：500 μm（SU8膠，用戶提供檢測條件）。
● 汞燈功率：1000W（直流，進口直流高壓汞燈德國歐司朗)。
● 照明不均勻性：5%（Φ200mm 范圍）。
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 精密閃測儀一鍵測量儀 | ￥560000 | 深圳市 | 深圳市中圖儀器股份有限公司 | 2025-08-14 | 在線詢價 |
| 艾德克斯ITECH 微功耗量測以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W | 面議 | 深圳市 | 深圳市賽儀歐電子有限公司 | 2025-03-04 | 在線詢價 |
| 羅卓尼克USB接口水活性快速測量探頭 | 面議 | 無錫市 | 無錫徽科特測控技術有限公司 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
| 激光功率測量系統 LPMS | 面議 | 上海倍藍光電科技有限公司 | 2025-04-08 | 在線詢價 | |
| 水分活度測量儀廠商 | 面議 | 常州市 | 常州金壇泰納儀器廠 | 2025-06-02 | 在線詢價 |
| 防爆油箱油位測量裝置 | 面議 | 無錫市 | 無錫市興洲儀器儀表有限公司 | 2025-02-11 | 在線詢價 |
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