SuperView W3白光干涉儀

產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W3

產(chǎn)品名稱(chēng)：白光干涉儀

原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置：長(zhǎng)范圍，Z軸納米光柵控制

物鏡：Nikon，10×無(wú)限遠(yuǎn)共軛干涉物鏡

物鏡座：5孔電動(dòng)物鏡塔臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)）

測(cè)量陣列：1024*1024，工業(yè)級(jí)相機(jī)

Z軸：100mm行程，納米位移閉環(huán)反饋

安全性：系統(tǒng)集成緊急制動(dòng)功能

樣品臺(tái)：0.1nm電動(dòng)，俯仰傾斜±6°，電動(dòng)調(diào)節(jié)，XY行程300*300
　　　　尺寸450*450mm，亞微米閉環(huán)反饋

1. 一體化操作的測(cè)量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。

2. 測(cè)量中提供自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能、批量測(cè)量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。

3. 測(cè)量中提供拼接測(cè)量功能。

4. 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過(guò)濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

5. 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

6. 分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

半導(dǎo)體制造（減薄粗糙度、鐳射槽道輪廓）	光學(xué)元器件.曲率&輪廓尺寸&粗糙度
（超精密）加工.輪廓尺寸&角度	表面工程（摩擦學(xué)）.輪廓面積&體積
3C電子（玻璃屏）.粗糙度	標(biāo)準(zhǔn)塊.臺(tái)階高&粗糙度