納米垂直定位臺SHL系列是采用納米編碼器具有高負載能力的三軸納米定位臺,能夠在Z軸垂直方向精確升降定位,具有不同范圍的負載。
納米垂直定位臺具有獨立導軌，確保負載方向直線運動。并可以集成多種定位編碼器用于直接位置反饋。
納米垂直定位臺專業為垂直升降定位而設計,可額外裝備恒力彈簧抵消負載,從而獲得平穩的更大負載值。
納米垂直定位臺采用納米編碼器可托舉高達10kg負重升降數毫米高度,多軸系統可以在三個軸向提供更高阻尼力。
納米垂直定位臺系列規格參數
說明：
1）重復精度是全行程測量數據，行程小時重復精度更高
2） 尺寸和其它處理工藝可定制
納米垂直定位臺具有獨立導軌，確保負載方向直線運動。并可以集成多種定位編碼器用于直接位置反饋。
納米垂直定位臺專業為垂直升降定位而設計,可額外裝備恒力彈簧抵消負載,從而獲得平穩的更大負載值。
納米垂直定位臺采用納米編碼器可托舉高達10kg負重升降數毫米高度,多軸系統可以在三個軸向提供更高阻尼力。
納米垂直定位臺系列規格參數
| 型號 | SHL-1D20N-10 | SHL-1D80N-1 | SHL-3D5N-1 |
| 分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
| 負載 | 20N(2kg) | 80 N (8 kg) | 5 N (500g) |
| 適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
| 行程范圍 | 10mm（+/-5mm) | 1mm | 1mm |
| 步進 | 10-300nm | 1 – 150 nm | 1 – 150 nm |
| 掃描范圍 | >500um | > 500 µm | > 500 µm |
| 掃描分辨率 | <1nm | < 1 nm | < 1 nm |
| 速度 | >5mm/s | > 1 mm/s | >5mm/s |
| 頻率 | 10KHz | 10 kHz | 10 kHz |
| 正向力Fn | 20N | 80N | 5N |
| 升力Fl | 20N | 80N | 5N |
| 尺寸2 | 65 x 75 x 50 mm^3 | 41 x 86 x 50 mm3 | 100 x 140 x 40 mm3 |
| 重量 | 400g | 340g | 650g |
| Closed-Loop-S 傳感器分辨率1 | 1nm | 1nm | 1nm |
| Closed-Loop-S 重復精度2 | +/-100nm | +/-100nm | +/-100nm |
| Closed-Loop-L 傳感器分辨率 | 4nm | 4nm | 4nm |
| Closed-Loop-L 閉環分辨率 | +/-500nm(H)CU,4nm MCS | +/-500nm(H)CU,4nm MCS | +/-500nm(H)CU,4nm MCS |
| Closed-Loop-L 重復精度 | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS |
1）重復精度是全行程測量數據，行程小時重復精度更高
2） 尺寸和其它處理工藝可定制
