六軸并聯定位平臺70.42采用德國六自由度并聯機器人hexapod提供六軸并聯動力學機器人式定位,提供六自由度操縱能力,具有更緊湊結構,更高剛性,更低的運動質量和更高的響應速度。
六軸并聯定位平臺70.42采用模塊化設計,其尺寸和強度可以適應不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
六軸并聯定位平臺70.42規格參數
負載:500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造(根據用戶要求)
垂直載荷Fv:5N
Θx:14 °
Θy:16 °
Θz:28 °
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
更多六軸并聯定位平臺應用案例