高精度電動XY線性平移臺是一款高精度直接驅(qū)動線性位移臺,采用光學(xué)編碼器和3相無鐵直線無刷伺服電機確保了平移臺高精度,高可靠性和低磨損,零反沖backlash。
高精度電動XY線性平移臺采用線性旋轉(zhuǎn)非接觸式編碼器作為反饋系統(tǒng),確保了非直接控制定位,精度高達(dá)壓納米分辨率。
高精度電動XY線性平移臺采用自然時效鋁合金確保高溫穩(wěn)定性和柔軟性,以及良好的長周期運動學(xué)特性,做到導(dǎo)向系統(tǒng)無漂移。特殊的導(dǎo)軌帶有滾珠軸承確保該平移臺且經(jīng)久耐用。
高精度電動XY線性平移臺標(biāo)準(zhǔn)品可以用于真空度達(dá)到10^-3Torr的真空環(huán)境，并可提供適用更高真空度的產(chǎn)品,也可根據(jù)用戶要求提供更高潔凈度的產(chǎn)品。
高精度電動XY線性平移臺可以很快連接到光學(xué)平臺上,可直接搭建成電動XY二維平移臺系統(tǒng),并具有良好的正交特性。
對于工業(yè)應(yīng)用,電動XY線性平移臺即可安裝到各種光學(xué)平臺，也可以安裝到高平整度大理石龍門架上,保證高精度位移和平移定位應(yīng)用。
高精度電動XY線性平移臺特點
直接驅(qū)動電機技術(shù)
零反沖backlash
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
超低剖面,線性電機
高精度線性導(dǎo)向系統(tǒng)帶有交叉滾珠軸承,具有抗蠕動性能
容易集成到公制或英制學(xué)機械中
默認(rèn)正交性能高≤5arcsec
高精度電動XY線性平移臺規(guī)格參數(shù)
| 軸數(shù) | XY二軸二維系統(tǒng) |
| 行程范圍 | 120x120mm |
| 編碼器類型 | 光學(xué)編碼器 |
| 編碼器型號 | Len1 |
| 編碼器分辨率 | 25nm-5um任意,根據(jù)用戶要求制定 |
| 編碼器接口 | 差分RS422 |
| 放大系數(shù) | N/A |
| 編碼器光柵周期, | 72mdeg |
| 參考標(biāo)記 (Index) | Yes,4-200根據(jù)用戶要求定制 |
| 精度2) | |
| 標(biāo)定前 | ±4µm |
| 標(biāo)定后 | < ±0.5µm |
| 單向重復(fù)精度 | N/A |
| 雙項重復(fù)精度（peak-peak)2) | 優(yōu)于±0.15µm |
| 雙項重復(fù)精度(RMS) 2) | ±0.1µm |
| Pitch 3) | ±30 / ±6.2µrad/arcsec |
| Yaw 3) | ±30 / ±6.2µrad / arcsec |
| Roll | N/A |
| 速度 (負(fù)載4kg) 4) | <1000mm/s |
| 加速度 ((負(fù)載4kg) 5) | <20000mm/s^2 |
| 安全限位開關(guān) (Safety) | Optical (Optrons) |
| 安全限位開關(guān)極性 | Pushed is closed |
| 限位開關(guān)電壓 | 5…24V |
| 負(fù)載導(dǎo)向信息 | |
| 導(dǎo)向類型 | 線性電機，平面類型位移臺 |
| 電機類型 | LM3 |
| 電機設(shè)計類型 | Internal Rotor BLDC Motors (3 phase) |
| Bus Voltage | >300VDC |
| 負(fù)載 (中心放置) 6) | |
| 水平 | 30kg |
| 運動質(zhì)量 7) | X軸3kg,Y軸8.5kg |
| 導(dǎo)向系統(tǒng) | 交叉滾珠軸承帶有籠式飄逸保護(hù) |
| 材料和外殼信息 | |
| 外部材料 | 鋁合金 |
| 外殼處理 | 黑色陽極氧化 |
| 環(huán)境壓力 | 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 |
| 工作溫度 | 20±2°C |
| 控制器 | |
| 推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦驅(qū)動器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦電源 9) | Request upport |
| 推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| 線纜長度 | 2m |
| 差分輸出 10) | On request |
| 配件 | |
| 底板 | 不需要 |
| XY二維平移臺系統(tǒng)搭建 | 直接搭建,需要安裝適配板 |
| Z軸豎直平移臺搭建 | 可以 |
| 外形尺寸 | |
| 移動臺尺寸 (W x L) | 240 x 240mm |
| 外形尺寸 (W x L x H) | 240 x 360 x 75mm |
| 公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| XY二維平移臺正交性 11) | 24/5 µrad/arcsec |
| 防護(hù)處理 13) | 基本處理 |
| RoHS | 滿足 |
| 重量 | 12.5kg |
1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒有負(fù)載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動位移臺系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境。
