這款垂直定位臺是專業為高精度垂直定位和高度升降設計的豎直定位臺,將水平運動轉換成垂直運動,是高精度垂直定位升降臺。
這款垂直定位臺提供高精度垂直定位和平滑的運動,負載高達10kg,采用wedge榫型設計和精密冷軋絲杠驅動。
垂直定位臺同時配置了高質量直線軸承導軌系統,確保在所有運動范圍內都的平滑升降位移和較長使用壽命。精密軸承確保了定位臺剛度和穩定性,而螺桿機械保證定位精度,同時安裝的光學限位開關為定位臺提供保護機械裝置。
我們還可以根據用戶要求提供其它步進電機或伺服電機,其中步進電機可配線性編碼器和制動裝置。
垂直定位臺特點
真正垂直
設計緊湊
使用壽命長
具有對應的真空版本的真空垂直定位臺
具有對應的超凈間使用的超凈垂直定位臺
垂直定位臺規格參數
| 型號 | 8MVT120-12-4247 | 8MVT120-12-42C01（超凈間版本） |
| 行程范圍 | 12.7 mm (0.5英寸) | 12.7 mm (0.5英寸) |
| 全步分辨率 | 2.5 µm | - |
| 1/256步分辨率 | 0.018 µm* | - |
| 編碼器每轉脈沖數 | by request | 4000 |
| 單次脈沖對應位移 | - | 0.18 µm |
| 絲杠螺距 | 1 mm | 1.44 mm** |
| 楔形減速比 | 2:1 | 2:1 |
| 單向重復精度 | 1.5 µm | 1.5 µm |
| 雙向重復精度 | 3 µm | 3 µm |
| 10 µm | 10 µm | |
| 上升平行度（與底板平行度） | 35 µm (按要求可達 10 µm) | 35 µm (按要求可達 10 µm) |
| 速度 | 10 mm/s | 12 mm/s |
| 負載 | 10 kg (20 kg 按要求供應) | 10 kg |
| 步進電機 | 4247 | - |
| 無刷直流電動機 | - | DB42-100 |
| 制動 | 按要求提供 | + |
| 光耦端限位開關 | 2 | 3 |
| 開關極性 | Pushed is open按下開啟 | Pushed is open按下開啟 |
| 電機連接接口 | DB9(M) | 按要求提供 |
| 材料 | 鋁 | 鋁 |
| 處理工藝 | 黑色陽極氧化硬殼 | 黑色陽極氧化硬殼 |
| 重量 | 3.5 kg | 3.9 kg |
| 控制器推薦 | 8SMC5-USB | 8SMC5-USB |
*螺釘涂TFE黑涂層,配備防反沖自潤滑塑料螺母,螺母提供了等于700萬個時間周期。
8MVT120-12-42C01型號是用于超凈間版本,適合清潔度級別達100,該型號還配備了真空套筒用于清除工作臺操作時堆積的灰塵。
