這款納米定位平臺(tái)X-TRIM是美國Nutec公司高速高精度真空納米定位平臺(tái)和納米位移平臺(tái),它采用*技術(shù)設(shè)計(jì),具有單軸或精密的雙軸配置兩種選擇,適合高真空環(huán)境和非磁性定位應(yīng)用.
納米定位平臺(tái)X-TRIM采用了陶瓷伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，非常適合要求精度達(dá)到納米或壓納米的高精度和高重復(fù)精度的應(yīng)用，例如：精密生命科學(xué)儀器、顯微成像、納米準(zhǔn)直、微納加工、光學(xué)精確定位等。
X-TRIM納米定位平臺(tái)特色
10nm分辨率非接觸線性編碼系統(tǒng)
雙驅(qū)動(dòng)任選:線性伺服或壓電驅(qū)動(dòng)
高密度滾珠傳導(dǎo)增加穩(wěn)定性
超緊湊的單軸或雙軸納米位移臺(tái)
緊湊型封裝
可真空使用
*工作能力，大吞吐量
納米定位平臺(tái)X-TRIM采用無鐵芯直接驅(qū)動(dòng)直線電機(jī),驅(qū)動(dòng)軸位于納米位移臺(tái)的中心線, 這種設(shè)計(jì)消除了非中心驅(qū)動(dòng)導(dǎo)致的偏航,空回等問題.
納米定位臺(tái)集成了一個(gè)高分辨率(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為閉環(huán)的伺服系統(tǒng)工作操作提供了精密反饋, 它的標(biāo)準(zhǔn)配置就可以提供納米精度的定位.
納米定位平臺(tái)使用能夠了精密的滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)確保了位移平臺(tái)高精度性能和嚴(yán)格的軌跡控制。
納米定位平臺(tái)也適合OEM使用,它具有較低拋面和較小尺寸，采用模塊化設(shè)計(jì)，用戶可堆疊使用創(chuàng)建多軸多部件系統(tǒng)。
這款納米定位平臺(tái)使用了非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)，提供堅(jiān)固，精確，高速的定位，滿足高頻率大工作量的需要。納米定位平臺(tái)使用了*的無鐵直線電機(jī)直接確定技術(shù)，確保異的納米級(jí)定位性能。
這款納米定位臺(tái)提供了高速度，高精度，高分辨率，高性能的表現(xiàn)。它與傳統(tǒng)的絲杠驅(qū)動(dòng)或壓電驅(qū)動(dòng)相比，具有更大的工作效率和吞吐量。
納米定位平臺(tái)X-TRIM參數(shù)
行程(mm): 25和50mm(單軸或雙軸)
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng): 無鐵芯直線電機(jī)或陶瓷伺服電機(jī)
加速度: 由負(fù)載決定
速度: 200mm/s (無負(fù)載時(shí))
推力: 24N
負(fù)載: 2Kg
精度: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脈沖
構(gòu)造材料: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜
重復(fù)精度: 5倍精度
| 型號(hào) | XT25 | XT50 | XT2525 | XT5050 |
行程 | 25mm | 50mm | 25x25mm | 50x50mm |
軌跡控制參數(shù) |
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精度 |
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線性編碼器精度 | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ± 2.0 μm | ± 4.0 μm |
平整度/直線度 | ± 1.0 μm | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ±2.0 μm |
Yaw/Pitch/Roll | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
2維雙軸系統(tǒng)參數(shù) |
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正交性 |
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標(biāo)準(zhǔn)版正交性 | NA | NA | 5 arc-sec | 5 arc-sec |
高精度版正交性 | NA | NA | 2 arc-sec | 2 arc-sec |
*精度版正交性 | NA | NA | 1 arc-sec | 1 arc-sec |
