XUV/VUV極紫外光譜儀是一款掠入射XUV-VUV光譜儀器和極紫外光柵光譜儀器,非常適合表征測量短脈沖激光發射。
XUV/VUV極紫外光譜儀由掠入射振幅光柵和高靈敏度CCD組成,適合探測6eV到210eV能量范圍。光學強度和光譜校準后，可精確測量激光XUV-VUV源（例如DPP和LPP源）發射的紫外光子數以及等離子體表面或氣體介質中的高次諧波產生。
XUV/VUV極紫外光譜儀特點
振幅光柵 光譜儀
適合6nm~200nm寬光譜范圍內的測量
適合探測6eV到210eV能量范圍
-掠入射振幅光柵，為一級光衍射提供極寬的光譜范圍
-高量子效率CCD
-緊湊型設計
XUV/VUV極紫外光譜儀分光計設計原則：
•與獨立透射光柵相比，掠入射振幅光柵具有更高的可靠性和魯棒性，同時為軟X射線的整個光譜范圍提供了更高的靈敏度
•使用平振幅反射光柵可以避免所有偶數級衍射，并對高奇數級進行深度抑制，從而實現高信號和低噪聲測量
•該方案中沒有聚焦元件，使得在所有光譜范圍內都能可靠地工作，因此設計非常緊湊
•CCD探測器具有穩定的量子響應，可以方便地進行定量測量
與透射光柵光譜儀相比，XUV/VUV極紫外光譜儀在6nm以下的整個光譜范圍內保持高靈敏度：
XUV/VUV極紫外光譜儀規格
光譜范圍：6-200nm
分辨率：λ/Δλ=50
掠射角：6度
縫寬：80um（默認），可根據要求更改
格柵：TGZ-2（NT-MDT©），工作區3x3mm
可用探測器：
1、東芝1304AP CCD線，3600個元素，像素周期8um，敏感部分6um，無機熒光粉
2、Hamamatsu S7030/S7031系列1024x122像素，24um周期
3、ANDORDX440-BN相機，2048x512，13.5微米周期
或客戶要求的其他CCD探測器。
XUV/VUV極紫外光譜儀由掠入射振幅光柵和高靈敏度CCD組成,適合探測6eV到210eV能量范圍。光學強度和光譜校準后，可精確測量激光XUV-VUV源（例如DPP和LPP源）發射的紫外光子數以及等離子體表面或氣體介質中的高次諧波產生。
XUV/VUV極紫外光譜儀特點
振幅光柵 光譜儀
適合6nm~200nm寬光譜范圍內的測量
適合探測6eV到210eV能量范圍
-掠入射振幅光柵，為一級光衍射提供極寬的光譜范圍
-高量子效率CCD
-緊湊型設計
XUV/VUV極紫外光譜儀分光計設計原則：
•與獨立透射光柵相比，掠入射振幅光柵具有更高的可靠性和魯棒性，同時為軟X射線的整個光譜范圍提供了更高的靈敏度
•使用平振幅反射光柵可以避免所有偶數級衍射，并對高奇數級進行深度抑制，從而實現高信號和低噪聲測量
•該方案中沒有聚焦元件，使得在所有光譜范圍內都能可靠地工作，因此設計非常緊湊
•CCD探測器具有穩定的量子響應，可以方便地進行定量測量
與透射光柵光譜儀相比，XUV/VUV極紫外光譜儀在6nm以下的整個光譜范圍內保持高靈敏度：
XUV/VUV極紫外光譜儀規格
光譜范圍：6-200nm
分辨率：λ/Δλ=50
掠射角：6度
縫寬：80um（默認），可根據要求更改
格柵：TGZ-2（NT-MDT©），工作區3x3mm
可用探測器：
1、東芝1304AP CCD線，3600個元素，像素周期8um，敏感部分6um，無機熒光粉
2、Hamamatsu S7030/S7031系列1024x122像素，24um周期
3、ANDORDX440-BN相機，2048x512，13.5微米周期
或客戶要求的其他CCD探測器。
