二、產(chǎn)品特點(diǎn)：
MF5706熱式氣體質(zhì)量流量計靈敏度高，有極小的始動流量；傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了流量計的高精度計量；在單個芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高；各種連接方式，易于安裝與使用；輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通氣體質(zhì)量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列流量計適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對流量計的靈活配置與參數(shù)查詢。
MF5706熱式氣體質(zhì)量流量計原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。MF5706熱式氣體質(zhì)量流量計同時實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
三、技術(shù)參數(shù)：
