Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導體和工業市場中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產品讀數精度達±0.5%，分辨率高，優于同類產品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由于采用直接測量設計，它能精確測量介質，不受應用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件，適用于苛刻的半導體和工業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態范圍寬的特點，使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此對半導體和工業真空過程中的腐蝕性介質具有*的耐受性。
Inconel®材料結合全焊接結構， 確保730型在這類應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業電容式壓力計不同，730型測量直接壓力， 不受被測混合氣的影響，這使其精度優于間接測量型壓力計。
應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
規格
性能參數 | 物理參數 | 電氣參數(電壓) | ||||
精度1 | ±0.5%讀數 ±0.25%讀數(可選) | 壓力接口 | 參見訂購信息 | 激勵輸出4 | 12-30VDC/0-10VDC 9-30VDC/0-5VDC | |
響應時間 | ﹤20MS | 接液材料 | Lnconel@ | 電流消耗 | ﹤10mA(大值) | |
分辨率 | 無限，僅受輸出噪聲的 限制(≤0.005%FS) | 電氣連接 | 5針螺釘端子、9針D-Sub或15 針D-Sub接頭(位于6*尾纖上) | 輸出負載 | ﹥10KΩ | |
溫度影響2 | 殼體 | 不銹鋼 | 輸出阻抗 | ﹤1Ω | ||
補償范圍 | 0～+50℃ | 腔室體積 | ﹤6.0cc | 電路 | 3線制 | |
零點漂移 | 0.25%FS/50℃ | 重量(近似值) | ﹤250g | 壓力介質 | ||
量程漂移 | 1.35%讀數/50℃ | 環境參數 | 與lnoonel@兼容的氣體或液體。lnoonel@接液材料僅適用于0.5*管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼。 | |||
*溫度性3 | 0.5%FS/1年,不受環境條件影響 | 溫度 | ||||
工作溫度 | 0至+80℃ | |||||
認證 | 1.包括非線性、非重復性盒遲滯 3.在80℃下運行時,滿量程范圍小于100Torr 2.產品在66℉進行標定,大溫 時為±1.0%FS/年 度影響誤差由此數據得來 4.采用50KΩ負載進行標定。可在負載≥5KΩ時工作 | |||||
CE.RoHS | ||||||
