光刻膠300度class100無塵烘箱 SECSGEM烘箱
工廠系統，選擇烘烤工藝，啟動/停止烘箱；
2.> 工廠系統根據，過程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
光刻膠300度class100無塵烘箱 SECSGEM烘箱
工廠系統，選擇烘烤工藝，啟動/停止烘箱；
2.> 工廠系統根據，過程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
3.> 系統控制開/關門等動作；
4.> 系統記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標、門未關到位；
5.> 實施記錄各種相關數據，如，溫度，料件ID，工藝信息
智能烘箱主要參數介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300/400/500/600℃
均勻度：±1.5%
潔凈等級：Class10 Class100（潔凈度要求可根據客戶需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根據客戶需求配置）
升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控
降溫速度：降溫斜率程序可控，500℃~300℃約3~5℃/min,300℃~120℃約1~3℃/min,120℃~65℃約0.5~1℃/min
控制系統優勢介紹
控制系統 | 工控電腦+歐姆龍PLC | |
權限 | 給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼； | |
給每個操作者，自定義分配權限（如：啟動，停止，調取工藝，調試，查看報表……） | ||
記錄當前操作者的所有操作記錄； | ||
控制方式切換 | 本地模式 | 由操作者，創建工藝、選擇工藝、執行； |
遠程模式 | 客戶系統發送運行工藝指令。支持：MES, SECS/GEM (其他系統，可溝通開發) | |
數據信息(數據信息可以存10年以上！) | 運行工藝信息記錄 | |
運行數據記錄（如：溫度、時間、含氧量、氣體流量、壓力……） | ||
事件記錄（開/關門事件、運行/停止事件、報警事件、故障事件） | ||
通訊記錄（與客戶系統通訊記錄） | ||
操作記錄（操作者操作記錄，如：登錄，注銷，故障處理……） | ||
故障信息顯示 | 通訊故障 | |
加熱斷線 | ||
循環風機故障 | ||
氣體管路故障 | ||
異常處理 | 上偏差報警、下偏差報警、上偏差報警停機、上限報警、上限報警停機；（控制點和采樣點） | |
光刻膠300度class100無塵烘箱 SECSGEM烘箱
