氣氛管式爐雙溫區(qū)管式爐，三溫區(qū)管式爐，五溫區(qū)管式爐等）還可以按照真空度分為高，低真空管式爐其它的也可按用途也：比如快速退火管式爐，CVD管式爐，PECVD管式爐等。按照加。
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氣氛管式爐技術(shù)參數(shù)：采用石英爐管和摻鉬電熱絲加熱元件，設(shè)有兩個真密封法蘭，控制系統(tǒng)采用高精度可控硅移相觸發(fā)控制，其控溫精度為±1℃，可設(shè)置30-50段升降溫程序，溫度可達1200℃
電爐殼體采用雙層強制風冷構(gòu)造，使電爐在溫度時爐殼外部溫度接近室溫，不高于40攝氏度。爐膛材質(zhì)采用*上*的輕質(zhì)氧化鋁陶瓷纖維，具有保溫效果優(yōu)良，質(zhì)輕耐高溫，耐極冷極熱，不裂縫，不結(jié)晶，不掉渣，不用擔心污染所燒制產(chǎn)品。節(jié)能效果是老式電爐的60%-80%。通氣端可設(shè)置1或多個進氣口，每個進氣口均設(shè)有針閥，連接真空表一個。出氣端連接出氣孔一個，抽真孔一個，所有孔均設(shè)針閥。
型號 | 規(guī)格φ*L（mm）外徑+加熱區(qū) | 溫度（℃） | 輸入電源/功率（V/KW） |
ASK2-2-12TPA2 | φ40*L200 | 1200℃ | 220V/2KW |
ASK2-3-12TPA3 | φ40*L300 | 1200℃ | 220V/3KW |
ASK2-4-12TPA4 | φ40*L400 | 1200℃ | 220V/4KW |
ASK2-4-12TPB3 | φ60*L300 | 1200℃ | 220V/4KW |
ASK2-5-12TPB4 | φ60*L400 | 1200℃ | 220V/4KW |
ASK2-6-12TPC3 | φ80*L300 | 1200℃ | 220V/5KW |
ASK2-7-12TPC4 | φ80*L400 | 1200℃ | 220V/5KW |
ASK2-8-12TPC6 | φ80*L600 | 1200℃ | 220V/6KW |
ASK2-7-12TPD3 | φ100*L300 | 1200℃ | 220V/5KW |
ASK2-8-12TPD4 | φ100*L400 | 1200℃ | 220V/6KW |
ASK2-10-12TPD6 | φ100*L600 | 1200℃ | 220V/7KW |
技術(shù)指標：
工作溫度 | 1100℃ |
溫度 | 1200℃ |
真空度 | 0.1Mpa |
密封方式 | 304不銹鋼 KF法蘭 |
可通氣氛 | 所有惰性氣體，氮氣、氬氣、二氧化碳、水蒸氣 |
升溫速率 | ≤30℃/Min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
工作電壓 | 220V 380V 50HZ |
管材 | 石英管 |
備注 | 可定做（液晶觸摸屏亦可訂做） |
標準配件：高溫手套 1雙 坩堝勾 1把
真空泵 1臺 說明書 1本
