真空等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)述
1、等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
（A）控制單元
控制單元液晶觸摸屏控制方式。 而控制單元又分為兩個(gè)大的部分：
1）電源部分：主要電源頻率是13.56MHz、13.56MHz 是需要電源匹配器的
2）系統(tǒng)控制單元是液晶觸摸屏控制
（B）真空腔體
真空腔體材質(zhì)：高強(qiáng)度鋁合金腔體
（C）真空泵
真空等離子清洗機(jī)
型號(hào)：SGR-1300
品牌：GRM
產(chǎn)品簡(jiǎn)述
1、等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
（A）控制單元
控制單元液晶觸摸屏控制方式。 而控制單元又分為兩個(gè)大的部分：
1）電源部分：主要電源頻率是13.56MHz、13.56MHz 是需要電源匹配器的
2）系統(tǒng)控制單元是液晶觸摸屏控制
（B）真空腔體
真空腔體材質(zhì)：高強(qiáng)度鋁合金腔體
（C）真空泵
產(chǎn)品特點(diǎn)
處理溫度低：
處理溫度可以低至50°C以下，低的處理溫度可以確保對(duì)樣品表面不造成熱影響。
處理全程無污染
等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備，無產(chǎn)生任何污染，處理過程也無產(chǎn)生任何污染?？梢源钆湓猩a(chǎn)流水線，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。
處理效果穩(wěn)定：
等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持效果良好。
可以處理各種形狀的樣品：
對(duì)于復(fù)雜形狀的樣品等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實(shí)現(xiàn)對(duì)固體樣品內(nèi)部位置進(jìn)行清洗。
性能優(yōu)勢(shì)
德國(guó)電路技術(shù)：
采用德國(guó)高壓激勵(lì)電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果
全面安全防護(hù)：
溫度過高,過載,氣壓失常,短路斷路,誤操作,等全面的報(bào)警保護(hù)功能。
級(jí)密封腔體：
級(jí)的高真空度密封腔體材質(zhì)及制造工藝
靈活的氣體配方選擇：
可選擇兩路、三路、四路氣體配方方案,滿足不同工藝要求。
優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件：
全部部件采用國(guó)內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件,運(yùn)行穩(wěn)定壽命更長(zhǎng)
低溫清洗：
滿足不同場(chǎng)合溫度要求,不對(duì)清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
環(huán)保簡(jiǎn)易：
極低的運(yùn)行成本,操作簡(jiǎn)單,過程無化學(xué)污染物排放,符合環(huán)保規(guī)范
等離子清洗的作用
等離子清洗的作用原理主要是：
（A）對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用 等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。
（B）激活鍵能，交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基不這些鍵 形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
（C）形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用 如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會(huì)収生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性。
參數(shù)指標(biāo)
整機(jī)規(guī)格 | 約1150×1350×1850（長(zhǎng)×寬×高）mm |
整機(jī)重量 | 約400 Kg |
鋁合金清洗腔體規(guī)格 | 780×400×475（長(zhǎng)×寬×高）mm |
鋁合金清洗腔體有效積 | 130L |
輸入電源 | 380V（三相）／50 Hz |
整機(jī)輸入功率（含真空泵） | 2500 W |
射頻輸出（連續(xù)可調(diào)） | 0～600 Ｗ,配置真空電容自動(dòng)匹配器,輸出方式是恒功率模式，電源本身輸出功率是實(shí)際功率 |
射頻頻率 | 13.56 MHz |
清洗時(shí)間定時(shí)器范圍 | 0～99.99 min |
真空泵 | *，雙極旋片真空泵，抽速可達(dá)60m³/h |
極限真空度 | 工作真空度≦30Pa |
真空度測(cè)量及量程 | 1.0×105～1.0×10－1 Pa進(jìn)口電子真空計(jì) |
氣體流量計(jì)及量程 | 國(guó)內(nèi)*，量程0-300SCCM |
進(jìn)氣閥 | 全自動(dòng)電子擋板閥 |
玻璃觀察窗 | 觀察清洗艙內(nèi)輝光狀態(tài) |
常用工作氣體 | 氧氣氬氣氮?dú)饣蚧旌蠚怏w可選 |
氣路 | *的氣路分布結(jié)構(gòu)，確保氣體分布均勻 |
PLC | 德國(guó)西門子PLC，全自動(dòng)程序控制 |
觸摸屏 | 威綸通觸摸屏，人性化界面，極易操作 |
全面安全防護(hù) | 溫度安全防護(hù)功能，過載防護(hù)功能，短路斷路報(bào)警防護(hù)功能，各種 誤操作保護(hù)功能 |
電氣部件 | 全采用施耐德 |
氣壓調(diào)節(jié)部件 | *SMC品牌 |
電極板 | 特殊處理的電極板結(jié)構(gòu)，確保放電均勻，清洗效果 |
腔體： | 級(jí)的高真空密封腔體 |
真空等離子清洗機(jī)
