正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統
通過自動重復使用FIB制備截面和進行SEM觀察，采集一系列連續截面圖像，并重構特定微區的三維結構
深圳市井澤貿易有限公司
胡經理
正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統
正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統
NX2000 NX9000
追求理想的三維結構分析
通過自動重復使用FIB制備截面和進行SEM觀察，采集一系列連續截面圖像，并重構特定微區的三維結構。
采用理想的鏡筒布局，從先進材料、先進設備到生物組織——在寬廣的領域范圍內實現傳統機型難以企及的高精度三維結構分析。
- SEM鏡筒與FIB鏡筒互成直角，形成三維結構分析理想的鏡筒布局
- 融合高亮度冷場發射電子槍與高靈敏度檢測系統，從磁性材料到生物組織——支持分析各種樣品
- 通過選配口碑良好的Micro-sampling®系統*和Triple Beam®系統*，可支持制作高品質TEM及原子探針樣品
| 項目 | 內容 | |
|---|---|---|
| SEM | 電子源 | 冷場場發射型 |
| 加速電壓 | 0.1 ～ 30 kV | |
| 分辨率 | 2.1 nm@1 kV | |
| 1.6 nm@15 kV | ||
| FIB | 離子源 | 鎵 |
| 加速電壓 | 0.5 ～ 30 kV | |
| 分辨率 | 4.0 nm@30 kV | |
| 大束流 | 100 nA | |
| 標準探測器 | In-colum二次電子探測器/In-colum背散射電子探測器/ 樣品室二次電子探測器 | |
| 樣品臺 | X | 0 ～ 20 mm *2 |
| Y | 0 ～ 20 mm *2 | |
| Z | 0 ～ 20 mm *2 | |
| θ | 0 ～ 360° *2 | |
| τ | -25 ～ 45° *2 | |
| 大樣品尺寸 | 正方形邊長6 mm × 厚度2 mm | |
