宏朗混氣管式PECVD系統(tǒng)
單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成。混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。
宏朗混氣管式PECVD系統(tǒng)使用范圍
設(shè)備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于*、高精模具、硬質(zhì)涂層、裝飾等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點：
多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕
重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結(jié)的要求。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工
具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。
雙層內(nèi)膽爐殼，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，快速升降溫
整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)
有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。
內(nèi)嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長
加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲，發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。
微電腦PID控制器，操作簡便
操作簡便，控溫精確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復(fù)雜的試驗過程，真正實現(xiàn)自動控制和運行。
爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。
真空系統(tǒng)采用高真空分子泵組，性能
性能可靠：整體型復(fù)合轉(zhuǎn)子，強度高、性能穩(wěn)定；
潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染。
技術(shù)參數(shù)：
| 管式爐系統(tǒng) | |
爐管尺寸 | 直徑60mm |
加熱區(qū)長度 | 440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
正常工作溫度 | 1100℃ |
工作溫度 | 1200℃ |
| 加熱元件 | 摻鉬合金加熱絲 |
| 爐膛材質(zhì) | 采用日本進口爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強 |
控溫方式 | 智能化30段可編程控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
| 真空系統(tǒng) | |
| 高真空分子泵組，高真空復(fù)合真空計 前級泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接 | |
質(zhì)子流量計 | |
高精度質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-500ＳＣＣｍ 誤差為0.02% 出氣真空壓力表，內(nèi)置氣體混氣系統(tǒng)， 不銹鋼針閥計管道，標準雙卡套接頭 | |
射頻電源系統(tǒng) | |
輸出功率 | 50-500W大可調(diào)±1% |
RF頻率 | 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% |
噪聲 | ≤55DB |
冷卻 | 風(fēng)冷 |
輸入功率 | 1KW AC 220V |
提供相關(guān)配件 | 氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防燙罩、剛玉坩堝、爐塞 |
| 電氣認證 | CE認證 |
| 售后服務(wù) | 12個月質(zhì)保、終身保修 |
可選配件：
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質(zhì)子流量計×1 | 真空系統(tǒng)×1 | 射頻電源×1 |
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| 氣煉石英爐管×1 | 真空法蘭×1 | 防燙罩×2 |
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可選配件：
液晶觸摸控制儀
1．實現(xiàn)烤箱/電爐的升溫、保溫、降溫工藝過程全自動。
2．工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線，保存于觸摸屏內(nèi)，帶密碼保護功能，可一次性編制多條曲線。
3．具備斷電記憶功能，查詢已完成的工藝階段。
4．現(xiàn)場操作人員需要調(diào)用某條溫控曲線時，直接輸入曲線序列號即可調(diào)用該條曲線，簡單方便，杜絕錯誤發(fā)生。
5．具備多組歷史數(shù)據(jù)記錄功能。
6．具備同時顯示多段溫度及時間功能。
全自動智能型水冷機
1.制冷量達1800W，可選用環(huán)保冷媒；
2.溫控精度可達±0.3℃；
3.智能溫控器具有兩種溫控模式，適用于不同的使用場合；
有多種設(shè)定和故障顯示功能；
4.具有多種報警保護功能：壓縮機延時保護；壓縮機過流
保護；水流報警；溫度超高/低報警；
5.多國電源規(guī)格，CE、RoHS認證；
6.長壽耐用，操作簡便；
7.可選配加熱器和凈化水質(zhì)配置。
