高速掃描壓電納米定位臺是采用壓電陶瓷驅動的一至三維納米級精密定位平移臺，平臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。
高速掃描壓電納米定位臺產品應用：
光纖對準 • 干涉測量 • 微加工 • 微操作 • 顯微光學 • 光纖定位 • 生物技術 • 半導體測試 • 納米定位
產品特點：
◆ 緊湊的外形尺寸：結構緊湊，易于集成；
◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統，多軸快速掃描；
◆ 內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，開/閉環可供選擇。
技術參數：
產品型號 | PS3H30-005U | PS3H30-005U-S | 公差 | |
運動自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
標稱行程范圍（@0~+120V） | 5.5 μm/軸 | 5.5 μm/軸 | ±20% | |
行程范圍（@-20~+150V） | 8.0 μm/軸 | 8.0 μm/軸 | ±20% | |
分辨率 | 0.1 nm | 0.2 nm | typ. | |
重復定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
線性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | |
承載能力 | 5 N | 5 N | Max. | |
諧振頻率 | 0g | （X）1.6 KHz、（Y）1.6 KHz、（Z）2.8 KHz | （（X）1.6 KHz、（Y）1.6 KHz、（Z）2.8 KHz | ±20% |
靜電容量 | 0.68 μF/軸 | 0.68 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅動電壓范圍（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 30×30×42 mm | 30×30×42 mm | - | |
重量 | 0.2 Kg | 0.2 Kg | ±5% | |
本體材質2 | 鋁（B） | 鋁（B） | -
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上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發區，是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發，并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等系列產品。
