芯明天壓電物鏡定位器
XP-721系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
芯明天壓電物鏡定位器
XP-721系列為小體積常規型壓電物鏡定位器，采用分離式螺紋適配器設計，可與多種顯微鏡配套使用。種螺紋牙可選，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝。
特性
• Z向運動，zui大行程110μm • zui大承載0.2kg • 毫秒級響應時間
• 閉環重復定位精度高 • 聚焦穩定性好
外觀形狀 | 產品運動示意圖 | 可裝配多種品牌、尺寸的物鏡 |
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快速安裝、高穩定性、長使用壽命 | 頻率負載曲線 | 應用實例-倒置光學顯微鏡 | |
XP-721壓電物鏡定位器為通用型顯微成像聚焦定位器，采用壓電陶瓷驅動，可實現的掃描范圍為110μm。 產品通過螺紋適配器安裝于透鏡連接架與物鏡間。將物鏡定位器主體通過螺紋連接到透鏡轉動架上，再將物鏡連接到定位器上，這種設計使得拆卸物鏡時不需要拆下其它組件。 物鏡定位器內置高可靠性壓電陶瓷，與優異的機械結構相結合，具有穩定性好、使用壽命長等優點。 |
| XP-721系列壓電物鏡定位器安裝在倒置光學顯微鏡中。
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響應時間可調節 | 驅動方式 | 閉環曲線 | |
配不同控制與承載響應時間可調。
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應用
• 三維成像 • 精密定位 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導體測試 • 表面檢測 • 光學計量 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結構分析
