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    壓阻式高溫壓力傳感器的特點所在

    2022-04-15標簽:高溫壓力傳感器

      壓阻式高溫壓力傳感器作為一種典型的傳感器,目前已經得到了較為廣泛的應用,下面我們就壓阻式高溫壓力傳感器的工作原理及其特點來跟大家做介紹。1、工作原理壓阻式高溫壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變
     
      壓阻式高溫壓力傳感器作為一種典型的傳感器,目前已經得到了較為廣泛的應用,下面我們就壓阻式
     
      高溫壓力傳感器的工作原理及其特點來跟大家做介紹。
     
      1、工作原理
     
      壓阻式高溫壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。
     
      當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。
     
      2、特點
     
      •精度高、工作可靠、頻率響應高、遲滯小、尺寸小、重量輕、結構簡單;
     
      •便于實現顯示數字化;
     
      •可以測量壓力,稍加改變,還可以測量差壓、高度、速度、加速度等參數。
     
      通過以上關于壓阻式高溫壓力傳感器的工作原理及特點的介紹,希望對大家工作學習有所幫助。
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